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什么是mpcvd?

文字:[大][中][小] 手機(jī)頁面二維碼 2022/5/6     瀏覽次數(shù):    

mpcvd即Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition的單詞縮寫,中文意思為微波等離子體化學(xué)氣相沉積。MPCVD設(shè)備適合高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng).多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。

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